Agilent Technologies MS40+ Manuel utilisateur

vacuum technologies

MS40+

Single Stage

Rotary Vane Pumps

Model 949-9225

Model 949-9240

Model 949-9241

87-901-008-01(A)

NOVEMBER 2008

(I) MANUALE DI ISTRUZIONI

(D) BEDIENUNGSHANDBUCH

(F) NOTICE DE MODE D’EMPLOI

(GB) INSTRUCTION MANUAL

NOTICE: This document contains references to Varian.

Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent

Technologies. For more information, go to

www.agilent.com/chem.

MS40+

SINGLE STAGE

ROTARY VANE PUMPS

ISTRUZIONI PER L’USO ....................................................................................................1

GEBRAUCHSANLEITUNG .................................................................................................3

MODE D’EMPLOI................................................................................................................5

INSTRUCTIONS FOR USE.................................................................................................7

TECHNICAL INFORMATION ..............................................................................................9

SECTION I .....................................................................................................................................9

TECHNICAL DESCRIPTION.........................................................................................................9

VACUUM SEALS...........................................................................................................................9

ANTI-SUCKBACK DEVICE............................................................................................................9

TECHNICAL DATA......................................................................................................................10

Dimensions........................................................................................................................11

SAFETY PRECAUTIONS............................................................................................................12

TRANSPORT AND INSTALLATION............................................................................................12

PRELIMINARY OPERATIONS....................................................................................................12

SECTION II ..................................................................................................................................13

CONNECTION TO THE ELECTRIC SUPPLY ............................................................................13

CONNECTIONS TO THE INLET AND EXHAUST FLANGES ....................................................13

STARTING AND RUNNING THE PUMP.....................................................................................13

STOPPING THE PUMP...............................................................................................................13

SAFETY RULES..........................................................................................................................13

WARNING Notes .....................................................................................................14

CAUTION Notes ..........................................................................................................14

MAINTENANCE ACTIONS..........................................................................................................15

OIL AND FILTER CARTRIDGE REPLACEMENT PROCEDURES............................................16

Oil Change Procedure.......................................................................................................16

Filter Cartridge Replacement Procedure...........................................................................16

LUBRICANTS ..............................................................................................................................16

PUMP ELECTRONIC CONTROLLER.........................................................................................18

Technical Specifications....................................................................................................18

Input/Output Communications:..........................................................................................18

RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION..................................................................19

J2 – Serial Port ..................................................................................................................19

Communication Format .....................................................................................................19

Communication Protocol....................................................................................................19

Windows Meaning .............................................................................................................21

Electronic Self-test.............................................................................................................21

Rotor Lock Test..................................................................................................................21

Oil Level Check..................................................................................................................21

ACCESSORIES...........................................................................................................................22

ISTRUZIONI PER L’USO

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INFORMAZIONI GENERALI

Questa apparecchiatura è destinata ad uso professiona-

le. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente

manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizio-

nale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'apparec-

chiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali

responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale

delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale

non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso

contrario alle normative nazionali specifiche.

Le MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps sono delle

pompe rotative monostadio a palette, a tenuta in bagno

d'olio, azionate da motore elettrico trifase.

Queste pompe da alto vuoto sono adatte al pompaggio

di gas non corrosivi.

Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni

necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore duran-

te l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate

sono fornite nell'appendice “Technical information”.

Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:

PERICOLO!

I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore

su una procedura o una pratica specifica che, se non

eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi le-

sioni personali.

ATTENZIONE!

I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di pro-

cedure che, se non osservate, potrebbero causare danni

all'apparecchiatura.

NOTA

Le note contengono informazioni importanti estrapolate

dal testo.

IMMAGAZZINAMENTO

Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe

non devono essere superate le seguenti condizioni am-

bientali:

−temperatura: da -20 °C a +70 °C

−umidità relativa: 0 - 95% (non condensante)

PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE

La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale;

se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi

verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite

locale.

Il peso dell’imballo, comprensivo della pompa, è, al

massimo, di circa 35 Kg.

Durante l'operazione di disimballaggio, prestare partico-

lare attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non

sottoporla ad urti o vibrazioni.

Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è

completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE

85/399 per la tutela dell'ambiente.

NOTA

La pompa non può essere danneggiata rimanendo sem-

plicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque

di mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione

sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da

polvere.

NOTA

La pompa è fornita con alcuni accessori standard:

•1 connettore "D" a 9 contatti per I/O (femmina)

(escluso il modello 949-9241)

•1 connettore "D" a 9 contatti per RS232 (maschio)

(escluso il modello 949-9241)

•Molla di ritenuta per presa IEC320

INSTALLAZIONE

Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti

ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas

aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di

incendio.

Durante il funzionamento è necessario che siano rispet-

tate le seguenti condizioni ambientali:

−temperatura: da +12 °C a +40 °C

−umidità relativa: 0 - 95% (non condensante)

−valore di IP.

PERICOLO!

Per proteggere contro corto-circuiti o sovraccarichi, si

deve installare un interruttore automatico sulla linea

d’alimentazione principale verso i dispositivi Varian, di

capacità adeguata (vedere la tabella seguente):

P/N Capacità Interruttore

949-9225 10A

949-9240 10A

949-9241 10A

ATTENZIONE!

Prima di avviare la pompa, verificare il livello dell’olio.

PERICOLO!

Togliere i tappi di protezione posti sulle flange di aspira-

zione e scarico prima di ogni successiva operazione.

L’aria contenuta all’interno della pompa, in caso di ac-

censione involontaria, può proiettarli violentemente con-

tro l’operatore e ferirlo.

ISTRUZIONI PER L’USO

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PERICOLO!

Durante l'installazione, prestare la massima attenzione

che la flangia di aspirazione sia collegata alla camera da

evacuare e che la flangia di scarico non sia tappata (ve-

dere la figura seguente).

La pompa non deve essere usata come compressore.

La massima pressione interna al contenitore dell'olio non

deve superare 1,5 bar (abs).

L'inosservanza di queste precauzioni può causare danni

alla macchina ed all'operatore.

ATTENZIONE!

Controllare che la tensione di alimentazione corrisponda

al campo di valori indicati sulla targhetta del controller.

Collegare la pompa all’alimentazione.

USO

L'accensione della pompa non richiede particolari mano-

vre; è sufficiente collegarla all’alimentazione elettrica

agendo sull’interruttore bipolare.

PERICOLO!

La pompa è progettata per operare con fluidi neutri o

non corrosivi. È assolutamente vietato l'impiego con so-

stanze potenzialmente esplosive o infiammabili.

MANUTENZIONE

Il personale addetto alla condotta ed alla manutenzione

della pompa deve essere ben addestrato e deve avere

un'approfondita conoscenza delle norme antinfortunisti-

che.

PERICOLO!

Le alte tensioni possono causare morte al contatto. Ope-

rare sempre con la massima cautela e secondo le nor-

me antinfortunistiche in vigore.

PERICOLO!

Quando la macchina è alimentata prestare attenzione

per la presenza di parti in movimento e di alta tensione.

PERICOLO!

Nel caso si debba procedere ad operazioni di manuten-

zione della pompa al termine di un prolungato periodo di

esercizio, è necessario lasciarla raffreddare, poichè la

temperatura esterna può superare i 60 °C.

PERICOLO!

Escludere sempre l'alimentazione della pompa prima di

compiere operazioni di manutenzione. Apporre specifici

cartelli di avvertenza: APPARECCHIATURA IN

MANUTENZIONE - NON INSERIRE L'ALIMENTAZIO-

NE, in corrispondenza dell'interruttore di alimentazione.

Al termine ripristinare i dispositivi di sicurezza.

PERICOLO!

Non effettuare la sostituzione dell’olio subito dopo

l’arresto della macchina, in quanto la temperatura dello

stesso può essere elevata.

NOTA

Prima di rispedire al costruttore una pompa per ripara-

zioni è indispensabile compilare e far pervenire al locale

ufficio vendite la scheda "Health and Safety Certifica-

tion" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia

della stessa deve essere inserita nell'imballo della pom-

pa prima della spedizione.

Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procede-

re alla sua eliminazione nel rispetto delle normative na-

zionali specifiche.

SMALTIMENTO

Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette

Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla di-

rettiva CE denominata "WEEE".

Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Eu-

ropea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve

essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali,

ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.

Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del di-

spositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il

processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei

termini e condizioni contrattuali di vendita.

Flangia di scarico

Flangia di aspirazione

GEBRAUCHSANLEITUNG

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ALLGEMEINE HINWEISE

Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch be-

stimmt. Vor dem Gebrauch soll der Benutzer dieses

Handbuch sowie alle weiteren von Varian mitgelieferten

Zusatzinformationen genau lesen. Bei vollständiger bzw.

teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Hinweise, un-

sachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal,

nicht autorisierten Eingriffen und Benutzung unter Miss-

achtung der nationalen Bestimmungen übernimmt Firma

Varian keinerlei Haftung.

Die Pumpen MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps

sind dichte ölbadgeschmierte einstufige Flügelzellen-

pumpen, die von einem Dreiphasenstrommotor betätigt

werden.

Diese Hochvakuumpumpen eignen sich für das Pumpen

von nicht korrosiven Gasen.

In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen In-

formationen für die Sicherheit des Bedieners bei der

Verwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte techni-

sche Informationen sind im Anhang "Technical Informa-

tion" enthalten.

In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheits-

hinweise folgendermaßen hervorgehoben:

GEFAHR!

Diese Warnung weist auf gefährliche Arbeitsschritte hin,

die bei unsachgemäßer Durchführung das Risiko von

Personenschäden bergen.

ACHTUNG!

Diese Warnung weist auf Arbeitsschritte hin, die das Ri-

siko von Schäden am Gerät bergen.

ANMERKUNG

Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die

aus dem Text hervorgehoben werden.

LAGERUNG

Während des Transports und der Lagerung der Pumpen

sollen die folgenden Umgebungsbedingungen gegeben

sein:

−Temperatur: -20 °C bis +70 °C

−Relative Feuchtigkeit: 0 – 95 % (niederschlagsfrei)

VOR DER INSTALLATION

Die Pumpe wird in einer speziellen Schutzverpackung

geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zustän-

digen örtlichen Verkaufsstelle zu melden.

Das Verpackungsgewicht beträgt, einschließlich der

Pumpe, maximal 36 kg.

Beim Auspacken ist darauf zu achten, dass die Pumpe

nicht fallengelassen oder Stößen oder Vibrationen aus-

gesetzt wird.

Das Verpackungsmaterial ist ordnungsgemäß zu ent-

sorgen. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der

EG-Richtlinie 85/399 für den Umweltschutz.

ANMERKUNG

Die Pumpe kann, wenn sie einfach der Atmosphäre

ausgesetzt ist, nicht beschädigt werden. Sie sollte je-

doch bis zur Installation an der Anlage geschlossen blei-

ben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.

ANMERKUNG

Die Pumpe wird mit einigen Standardzubehörteilen ge-

liefert:

•1 9-Stift-Stecker "D" für I/O (Steckbuchse) (mit Au-

snahme der 949-9241-model)

•1 9-Stift-Stecker "D" für RS232 (Stecker) (mit Aus-

nahme der 949-9241-model)

•Rückhaltefeder für Anschluss IEC320

INSTALLATION

Die Pumpe darf nicht in Umgebungen installiert und/oder

benutzt werden, die ungeschützt vor Witterungsbedin-

gungen (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven

Gasen sind und in denen Explosions- oder erhöhte

Brandgefahr besteht.

Während des Betriebs sollen die folgenden Umge-

bungsbedingungen gegeben sein:

−Temperatur: +12 °C bis +40 °C

−Relative Feuchtigkeit: 0 - 95% (niederschlagsfrei)

−IP Wert.

GEFAHR!

Zum Schutz vor Kurzschlüssen oder Überlastungen

muss ein automatischer Schalter in die Hauptspeisungs-

leitung zu den Varian-Vorrichtungen installiert werden

(siehe folgende Tabelle):

P/N Leistung des Schutzschalters

949-9225 10A

949-9240 10A

949-9241 10A

ACHTUNG!

Vor Inbetriebnahme der Pumpe muss der Ölstand kon-

trolliert werden.

GEFAHR!

Vor Aufnahme jeglicher Arbeiten sind die Schutzkappen

an den Saug- und Druckflanschen zu entfernen. Die im

Pumpeninnern enthaltene Luft könnte diese bei unbeab-

sichtigter Einschaltung gegen den Bediener schleudern.

GEBRAUCHSANLEITUNG

4/22 87-901-008-01(A)

GEFAHR!

Bei der Installation ist unbedingt darauf zu achten, dass

der Saugflansch an die zu entleerende Kammer ange-

schlossen ist und der Ablassflansch nicht verschlossen

ist (siehe nachstehende Abbildung).

Die Pumpe darf nicht als Verdichter verwendet werden.

Der Druck im Ölbehälter darf nicht größer als 1,5 bar

(abs) sein.

Bei Nichtbeachtung dieser Anweisungen besteht Scha-

densgefahr für das Gerät und die Bedienperson.

ACHTUNG!

Vergewissern Sie sich, dass die Versorgungsspannung

mit dem Wertbereich auf dem Typenschild des Kontrol-

lers übereinstimmt.

Die Pumpe an das Versorgungsnetz anschließen.

GEBRAUCH

Die Einschaltung der Pumpe erfordert keine speziellen

Schritte, sie braucht nur durch Betätigung des zweipoli-

gen Schalters an den Strom angeschlossen zu werden.

GEFAHR!

Die Pumpe ist für den Betrieb mit neutralen und nicht

korrosiven Fluiden konzipiert. Der Einsatz mit potentiell

explosions- oder feuergefährlichen Substanzen ist

streng verboten.

WARTUNG

Das für den Betrieb und die Wartung zuständige Perso-

nal soll geschult sein und über eine solide Kenntnis der

Unfallschutzvorschriften verfügen.

GEFAHR!

Hochspannungen können bei Kontakt tödliche Folgen

haben. Es ist stets mit größter Vorsicht und gemäß den

geltenden Unfallschutzvorschriften vorzugehen.

GEFAHR!

Bei eingeschaltetem Gerät ist auf Bewegungs- und

Hochspannungsteile zu achten.

GEFAHR!

Falls die Pumpe im Anschluss an den Betrieb gewartet

werden soll, ist abzuwarten, bis sie abgekühlt ist, da ihre

Oberfläche eine Temperatur von 60 °C überschreiten

kann.

GEFAHR!

Vor Wartungsarbeiten ist die Pumpe stets energiefrei zu

schalten. Am Netzschalter sind spezielle Warnschilder

“INSTANDHALTUNG AM GERÄT – NICHT

EINSCHALTEN” anzubringen. Nach Abschluss der Ar-

beiten sind die Sicherheitseinrichtungen wieder zu akti-

vieren.

GEFAHR!

Keine Ölwechsel unmittelbar nach Stillsetzung des Ge-

rätes vornehmen, da die Öltemperatur sehr hoch sein

kann.

ANMERKUNG

Bevor dem Hersteller eine Pumpe zur Reparatur zurück-

gesandt wird, ist das Formular “Sicherheit und Gesund-

heit” in der Anlage zum vorliegenden Handbuch

auszufüllen und der lokalen Verkaufsstelle zuzustellen.

Eine Kopie des Formulars ist der Pumpenverpackung

vor dem Versand beizulegen.

Bei eventueller Verschrottung einer Pumpe ist diese

entsprechend der einschlägigen nationalen Vorschriften

zu entsorgen.

ENTSORGUNG

Bedeutung des "WEEE"-Logos auf den Etiketten

Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-

Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment)

angebracht.

Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass

das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll

entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem

zugeführt werden muss.

Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts – d.

h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer – kontaktie-

ren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die

Verkaufsbedingungen geprüft hat.

Ablassflansch

Saugflansch

MODE D'EMPLOI

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INFORMATION GÉNÉRALE

Cet appareil a été conçu en vue d'une utilisation profes-

sionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentive-

ment cette notice ainsi que toute autre information

fournie par Varian avant de l'utiliser. Varian décline toute

responsabilité en cas de non-respect total ou partiel des

instructions fournies, d'utilisation incorrecte de la part du

personnel non formé, d'opérations non autorisées ou

d'un emploi contraire aux réglementations nationales

spécifiques.

MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps sont des pom-

pes rotatives monoétages, à palettes, étanches en bain

d'huile, actionnées par un moteur électrique triphasé.

Ces pompes à haut vide sont adaptées au pompage de

gaz non corrosifs.

Les paragraphes suivants fournissent toute l‘information

nécessaire pour garantir la sécurité de l'opérateur pen-

dant l'utilisation de l'appareil. Des renseignements plus

détaillés se trouvent dans l'appendice «Technical infor-

mation».

Cette notice utilise les signes conventionnels sui-

vants:

DANGER!

Les messages de danger attirent l'attention de l'opéra-

teur sur une procédure ou une manœuvre spéciale dont

la mauvaise exécution risque de provoquer de graves

lésions.

ATTENTION!

Les messages d'attention apparaissent avant certaines

procédures dont le non-respect pourrait endommager

sérieusement l'appareil.

NOTE

Les notes contiennent des renseignements importants,

isolés du texte.

EMMAGASINAGE

Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes,

veiller à respecter les conditions environnementales sui-

vantes:

−température: de -20 °C à +70 °C

−humidité relative: 0 - 95 % (sans condensation)

PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION

La pompe est fournie dans un emballage de protection

spécial; si l'on constate des marques de dommages

pouvant s'être produites pendant le transport, contacter

aussitôt le bureau de vente local.

Le poids total de l'emballage avec la pompe est

d’environ 35 kg maximum.

Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller

tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe

et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration.

Ne pas jeter l'emballage dans la nature. Le matériel est

entièrement recyclable et il est conforme à la directive

CEE 85/399 en matière de protection de l'environne-

ment.

NOTE

La pompe ne peut être endommagée en restant sim-

plement exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon

conseillé de la garder dans son emballage jusqu'au

moment de sa mise en place sur le système afin d'éviter

toute pollution due à la poussière.

NOTE

La pompe est équipée de certains accessoires standard:

•1 connecteur “D” à 9 broches pour E/S (femelle)

(l’exclusion du modèle 949-9241)

•1 connecteur “D” à 9 broches pour RS232 (mâle)

(l’exclusion du modèle 949-9241)

•Ressort de maintien pour prise IEC320

INSTALLATION

Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux

exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige),

à des poussières, à des gaz agressifs ainsi que dans

des milieux explosifs ou à risque élevé d'incendie.

Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respec-

ter les conditions environnementales suivantes:

−Température: de +12 °C à +40 °C

−Humidité relative: 0 - 95 % (sans condensation)

−Valeur d'IP.

DANGER!

Pour protéger contre les courts-circuits ou les surintensi-

tés, il faut installer un disjoncteur automatique sur la li-

gne d’alimentation principale vers les dispositifs Varian,

de capacité adéquate (voir tableau ci-dessous):

P/N Ampérage du disjoncteur

949-9225 10A

949-9240 10A

949-9241 10A

ATTENTION!

Avant toute utilisation de la pompe, vérifier le niveau de

l’huile.

DANGER!

Avant toute autre opération, retirer les bouchons de pro-

tection placés sur les brides d'aspiration et de vidange.

En cas de mise en marche inopinée de l'appareil, l'air

contenu à l'intérieur de la pompe peut les projeter contre

l'opérateur et le blesser.

Autres manuels pour MS40+

Ce manuel convient aux modèles suivants

Table des matières

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Agilent Technologies MS 120 Major Manuel d'installation et d'exploitation

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Agilent Technologies TwisTorr 804 FS Manuel utilisateur

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Agilent Technologies TPS-mini 9699180 Manuel utilisateur

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Agilent Technologies TriScroll 300 Series Manuel utilisateur

Agilent Technologies

Agilent Technologies TwisTorr 704 FS Manuel utilisateur

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Agilent Technologies TV-401/301/21 NSF Manuel utilisateur

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Agilent Technologies TriScroll 600 Series Manuel utilisateur

Agilent Technologies

Agilent Technologies TriScroll 600 Series Manuel utilisateur

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Agilent Technologies TwisTorr 404 FS Manuel utilisateur

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Agilent Technologies TwisTorr 304 FS Manuel utilisateur

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Agilent Technologies TV 301SF Navigator Manuel utilisateur

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Agilent Technologies Turbo-V 81-M Series Manuel utilisateur

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Agilent Technologies TwisTorr 305 FS Series Manuel utilisateur

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Agilent Technologies Turbo-V 750 TwisTorr Manuel utilisateur

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WilTec 50740 Manuel utilisateur

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Everbilt EFSUB5-122HD Manuel utilisateur

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Graco Husky 3300e Manuel utilisateur

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moyno 2000 CC Manuel utilisateur

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