Gamma Vacuum SPCe Manuel utilisateur
Small Pump Controller (SPCe)
Instruction manual
www.gammavacuum.com
900026_F Original instructions
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Contents
1. Safety and compliance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.1. Denition of Warnings and Cautions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.2. Safety symbols. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.3. Warnings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.4. Safety notices. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2. General information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.1. Approvals. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
3. Unpacking the controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.1. Inspect for any obvious damage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.2. Check the equipment received. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
4. Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.1. Required items. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.2. Installation procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5. Operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.1. Front panel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.2. High voltage operation (quick start). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
6. Display menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
6.1. Display during ion pump operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
6.2. System information menu (Sys). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
6.3. High voltage output menu (output). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
6.4. Supply menu (supply). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
6.5. Communications mode (Comm). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
6.6. Serial parameters menu (Serial). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.7. Ethernet parameters menu (Ethnt). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
6.8. Conguration menu (Cong). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
6.9. Diagnostics menu (Diag). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
6.10. SPC. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
7. Display messages. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
8. Back panel operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
8.1. Remote hardware option (J1). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
8.2. Power supplies. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
9. Serial (J3) and ethernet (J2) operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
9.1. Ethernet connector. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
9.2. Serial connector. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
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9.3. Standard. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
9.4. Cabling. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
9.5. Command packet structure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
9.6. Decoding the command packet. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
9.7. Response packet. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
9.8. RS 232/422/485 general commands. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
9.9. CRC checksum example. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
9.10. Serial command examples. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
10. Warranty and service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
10.1. Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
10.1.1. Cleaning procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
10.1.2. Service requests. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
10.1.3. Direct support. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
10.2. Warranty. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
10.2.1. General terms. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
10.2.2. Warranty claims. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
10.3. Returning material. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
10.3.1. Return procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
10.3.2. Required documentation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
11. Disposal. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
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List of Figures
Figure 1: Front panel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Figure 2: Display during ion pump operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Figure 3: Accessing Main Menu settings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Figure 4: System information menu (Sys). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Figure 5: Pump size. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Figure 6: Units. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Figure 7: Setpoint function cong. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Figure 8: Setpoint. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Figure 9: Factor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Figure 10: Output. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Figure 11: Voltage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Figure 12: Current. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Figure 13: Foldback pressure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Figure 14: System output supply. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Figure 15: Supply menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Figure 16: Arc processing. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Figure 17: Auto HV. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Figure 18: HV enable. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Figure 19: Battery mode. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Figure 20: Communication mode. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Figure 21: RS protocol. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Figure 22: Mode. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Figure 23: Address. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Figure 24: Handshaking. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Figure 25: Serial menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Figure 26: SW protocol. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Figure 27: Baud rate. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Figure 28: Parity. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Figure 29: Data and stop bits. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Figure 30: Ethernet parameter menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Figure 31: DHCP and IP address. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Figure 32: Subnet mask. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Figure 33: Gateway address. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Figure 34: MAC address. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Figure 35: Conguration menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Figure 36: Adjust display. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Figure 37: Pump name. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Figure 38: Adjust LCD timeout. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Figure 39: Diagnostic menu. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Figure 40: Calibrate supply. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
Figure 41: Emission analysis. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
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Figure 42: High pot. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
Figure 43: Supply jump start. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Figure 44: SPC. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Figure 45: Technician features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Figure 46: Events. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Figure 47: Update rmware. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Figure 48: DIGITEL SPCe. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Figure 49: Back panel view. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
Figure 50: Remote hardware . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
Figure 51: Pressure output. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
Figure 52: Current output. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Figure 53: Ethernet connector. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
Figure 54: Serial connector. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
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1. Safety and compliance
1.1. Denition of Warnings and Cautions
NOTICE:
For safe operation from the start, read these instructions carefully before
you install or commission the equipment and keep them safe for future use.
Read all the safety instructions in this section and the rest of this manual
carefully and make sure that you obey these instructions. The equipment
must only be operated and maintained by trained personnel in the proper
condition and as described in this instruction manual.
Obey local and state requirements and regulations. If you have any
questions about safety, operation or maintenance of the device, please
contact our nearest subsidiary.
Important safety information is highlighted as warning and caution
instructions. Obey these instructions.
WARNING:
If you do not obey a warning, there is a risk of injury or death. Dierent
symbols are used according to the type of hazard.
CAUTION:
If you do not obey a caution, there is a risk of minor injury, damage to
equipment, related equipment or process.
NOTICE:
Information about properties or instructions for an action which, if ignored,
will cause damage to the equipment.
We reserve the right to change the design and the stated data. The
illustrations are not binding.
Keep the instructions for future use.
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900026_F - Safety and compliance
1.2. Safety symbols
The safety symbols on the products show the areas where care and
attention is necessary.
The safety symbols that follow are used on the product or in the product
documentation.
Warning/Caution
An appropriate safety instruction must be followed or caution
to a potential hazard exists.
Warning - Dangerous voltage
Identies possible hazards from dangerous voltages.
Warning - Heavy object
Identies a possible hazard from a heavy object.
Warning - Read the manual
1.3. Warnings
WARNING:
Shock hazard. Can
cause injury or death.
Remove power before
servicing.
AVERTISSEMENT :
Risque de choc
électrique. Peut
entraîner des blessures,
voire la mort. Coupez
l'alimentation électrique
avant l'entretien.
警告:
感電事故。怪我や死亡事
故の原因になります。保
守を行う前に、電源を切
ってください。
ADVERTENCIA:
Peligro de descarga.
Pueden producirse
lesiones o incluso la
muerte. Desconecte la
alimentación antes de
realizar cualquier tarea
de mantenimiento.
WARNUNG:
Stromschlaggefahr. Es
besteht Verletzungs-
und Todesgefahr. Vor
Wartungsarbeiten vom
Strom trennen.
警告：
触电危险。可能导致人员
伤亡。维护之前先断电。
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900026_F - Safety and compliance
WARNING:
Heavy object. To avoid
muscle strain or back
injury, use lifting aids
and proper lifting
techniques when
removing or replacing.
AVERTISSEMENT :
Objet lourd. Pour éviter
les blessures
musculaires ou
dorsales, utilisez des
engins de levage et des
techniques de levage
appropriées lors du
retrait ou du
remplacement d’un
objet lourd.
警告:
重量のある装置、部品。
筋挫傷、背中や腰の怪我
を避けるために、取り外
しや交換はリフトを使用
した適切な吊り上げ方法
で行ってください。
ADVERTENCIA:
Objeto pesado. Para
evitar distensiones
musculares o lesiones
en la espalda, utilice
ayudas para la
elevación y técnicas de
elevación adecuadas
durante la retirada o
sustitución del equipo.
WARNUNG:
Schwerer Gegenstand.
Um
Muskelverspannungen
oder
Rückenverletzungen zu
vermeiden, verwenden
Sie beim Entfernen
oder Ersetzen
Hebehilfen und
geeignete
Hebetechniken.
警告：
重物。为了避免肌肉劳损
或背部损伤，执行卸除或
更换操作时，应使用起重
工具，并采用适当的起重
技巧。
WARNING:
Read and understand
operator’s manual
before using this
machine. Failure to
follow operating
instructions could result
in injury or damage to
equipment.
AVERTISSEMENT :
Lisez et comprenez le
mode d’emploi avant
d’utiliser cette machine.
Le non-respect des
instructions d’utilisation
peut entraîner des
blessures ou
endommager
l’équipement.
警告:
本機械を使用する前に、
取扱説明書をよく読み、
十分に理解してくださ
い。操作手順に従わない
場合、怪我や機器が損傷
する原因となることがあ
ります。
ADVERTENCIA:
Lea y comprenda el
manual del operador
antes de utilizar este
equipo. Si no se siguen
las instrucciones de
funcionamiento,
podrían producirse
lesiones o daños en el
equipo.
WARNUNG:
Sie müssen diese
Bedienungsanleitung
lesen und verstehen,
bevor Sie diese
Maschine benutzen. Die
Nichtbeachtung der
Gebrauchsanleitung
kann zu Verletzungen
oder Schäden an der
Anlage führen.
警告：
使用本设备之前，请阅读
并理解操作员手册。不遵
守操作手册说明可能导致
人员受伤和设备损坏。
1.4. Safety notices
1. To avoid personal injury, do not perform any installation or service unless
qualied to do so. Installation should be performed by qualied,
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authorized personnel who have experience working with voltages greater
than 50 volts.
2. Do not open the SPCe case under any circumstances. There are no
serviceable parts inside the SPCe, and voltages over 5000V are present. In
the event that the SPCe requires attention, return it to Gamma Vacuum.
3. Do not disconnect the high-voltage cable with the power on. After turning
o the SPCe, allow at least one minute before disconnecting electrical
equipment.
4. Do not operate the SPCe without a proper electrical ground or near
water. The SPCe may be damaged and its safety reduced, if it is operated
outside specications.
5. In the event that this unit is not used in accordance with its intended
purpose of controlling an ion pump, safety and protection requirements
are subjected to change and not specied by the manufacturer.
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